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    晶圆级封装表面处理所用的香蕉视频污片机

    返回列表 来源:香蕉视频IOS下载 浏览: 发布日期:2019-07-10 16:50【
    文章导读:晶圆级封装前处理的目的是去除表面的无机物,还原氧化层,增加铜表面的粗糙度,提高产品的可靠性。目前,行业内普遍使用香蕉视频污片机进行超洁净清洗和表面粗化处理。
    晶圆级封装(WLP,Wafer Level Package)是先进的芯片封装方式之一,就是指,当整片晶圆生产完成后,直接在晶圆上面进行封装和测试,然后把整个晶圆切割开来分成单颗晶粒;电气连接部分采用使用铜凸块(Copper Bump)取代打线(Wire Bond)的方法,所以没有打线或填胶工艺。晶圆级封装表面处理使用香蕉视频污片机有何优势呢?香蕉视频IOS下载来为大家介绍。
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    晶圆级封装前处理的目的是去除表面的无机物,还原氧化层,增加铜表面的粗糙度,提高产品的可靠性。由于产能的需要,真空反应腔体、电极结构、气流分布、水冷装置、均匀性等方面的不同考虑,香蕉视频污片机在设计上会有显著区别。
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    为什么晶圆级封装表面处理必须选用香蕉视频污片机呢?原因很简单:芯片制作完成后残余的光刻胶是无法使用湿式法来清洗的,只能通过等离子的方式进行去除。此外,香蕉视频IOS下载无法确定光刻胶较厚,因此香蕉视频IOS下载需要通过多次试验来调整相应的工艺参数,以达到最佳的处理效果。上图是晶圆级封装光刻胶去除的香蕉视频污片机放电状态。

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