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    用于半导体封装的香蕉视频污片设备主要由哪些部分组成?

    返回列表 来源:香蕉视频IOS下载 浏览: 发布日期:2018-10-29 16:44【
    文章导读:香蕉视频污片设备有多种叫法,例如香蕉视频污片机、香蕉小视频在线观看设备、低温等离子处理设备、香蕉小视频在线观看系统、电浆机、Plasma cleaner等,半导体封装用到的香蕉视频污片设备是什么样的呢?

    按照等离子体产生的机制业界一般分为常压(大气)香蕉视频污片设备和低压(真空)香蕉视频污片设备,半导体封装行业用到的香蕉视频污片设备属于后者。香蕉视频污片设备主要由以下几部分组成:

    1、真空腔体:带有各种结构的放电电极,使得反应气体激发生成等离子体,形成不同状态、不同特性和密度的等离子体
     

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    2、等离子发生器:含电源和匹配器,提供反应气体放电能量来源,维持等离子体放电状态;有不同的频率区分。
     

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    3、真空泵:抽取真空,保持真空度,抽走未电离的工艺气体和反应副产物;包括单级泵和泵组。
     

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    4、真空计:监测真空腔体的真空度。


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    5、流量计:测量反应气体的流量。

     

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    6、反应气体:各种工艺气体,如Ar、H2、N2、O2、CF4等,根据需要使用单一气体或者两种以上的混合气体。

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    7、电气控制:含软件,保证设备运行、监测、数据采集和工艺参数设定等。


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